சித்தர்கள் காயத்ரி மந்திரங்கள்

அகஸ்தியர் (ஞானம் உண்டாக)

ஓம் அகஸ்தீஸ்வராய வித்மஹே
பொதிகை சஞ்சராய தீமஹி
தன்னோ ஞானகுரு ப்ரசோதயாத்

கருவூரார் (ஆயுள் தீர்க்கம் பெற)

ஓம் ராஜமூர்த்யா வித்மஹே
சௌபாக்ய ரத்நாய தீமஹி
தன்னோ வாதகாயை கருவூர்சித்த ப்ரசோதயாத்

காலங்கிநாதர்

ஓம் வாலை உபாசாய வித்மஹே
புவனேஸ்வரி சிஷ்யா தீமஹி
தன்னோ காலங்கிநாத ப்ரசோதயாத்

திருமூலர் (தியான யோகம் பெற)

ஓம் ககன சித்ராய வித்மஹே
பிரம்மசொரூபிணே தீமஹி
தன்னோ திருமூலராய ப்ரசோதயாத்

பதஞ்சலி (யோகங்கள் சித்தி அடைய)

ஓம் சிவதத்வாய வித்மஹே
யோகாந்தராய தீமஹி
தன்னோ பதஞ்சலிகுரு ப்ரசோதயாத்

புண்ணாக்கீசர்

ஓம் ஈசத்வாய ச வித்மஹே
ரணனாவாய தீமஹி
தன்னோ முக்தி புண்ணாகீ ப்ரசோதயாத்

சுந்தரானந்தர் (சகல காரியங்களும் சித்தி பெற)

ஓம் ஸ்ரீ வல்லபாய வித்மஹே
ஸ்ரீ மீனாக்ஷி பதிவால் தீமஹி
தன்னோ சுந்தரானந்த ப்ரசோதயாத்

போகர்

ஓம் நவபாஷாவைகராய வித்மஹே
மன்மதரூபாய தீமஹி
தன்னோ பிரபஞ்ச சஞ்சார
சீனபதிர்ஷி ப்ரசோதயாத்

பைரவர் (அஷ்ட சித்திகளை பெற)

ஓம் தீக்ஷ்ணதம்ஷ்ட்ராய வித்மஹே
க்ஷத்ர பாலாய தீமஹி
தன்னோ பைரவ ப்ரசோதயாத்

ஓம் திகம்பராய வித்மஹே
தீர்கசிச்நாய தீமஹி
தன்னோ பைரவ ப்ரசோதயாத்

ஓம் ஸ்வாநத்வஜாய வித்மஹே
சூல ஹஸ்தாய தீமஹி
தன்னோ பைரவஹ் ப்ரசோதயாத்